微机电系统性能检测的分析与研究
鲍雅萍
安阳大学,河南,安阳,455000
摘要：微机电系统是一种集微电子电路和微机械致动器的微小器件,微传感器的性能检测可通过对系统输入量和输出量的检测,选择合适的测试仪器和测试方法来实现.根据角频率的推导,采用频率响应方法,其结果比通过传递函数数值分析得到的谐振角频率精确得多.
关键词：微机电系统传感器检测
分类号：TP271(自动化技术及设备)
论文发表日期：2004-01-01
在线出版日期：2025-08-15（本平台首次上网日期，不代表文献的发表时间）
页数：3( 14-16 )
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