离线式TCO镀膜玻璃炸裂的原因及对策
蒋振伟
薛文鑫
1.河南安彩高科股份有限公司,河南安阳,4550002.河南安彩高科股份有限公司,河南安阳,455000
摘要:阐述了采用nAERO辅助气溶胶薄膜沉积技术制备TCO镀膜玻璃时,在TCO玻璃生产线上出现的玻璃连续炸裂的问题,通过分析和多次对加热炉温度曲线、气浮台高度、镀膜腔室尾气排放量、加热炉与镀膜腔室间隙等工艺及设备调整,对可能存在的原因逐一排查,最终确定炸裂的主要因素,并加以改进,使离线式TCO镀膜玻璃炸裂问题得到了最终解决。
关键词:nAERO辅助气溶胶薄膜沉积技术离线式TCO镀膜玻璃玻璃炸裂冷风
分类号:TQ171(硅酸盐工业)
论文发表日期:2015-01-01
在线出版日期:2025-08-15(本平台首次上网日期,不代表文献的发表时间)
页数:3( 35-37 )
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安阳工学院学报

安阳工学院学报

ISSN:1673-2928
年,卷(期):2015,(2)
所属栏目:机械工程与电气控制