基于椭圆偏振法的薄膜厚度测量
李勇
李刚
曹小荣
李亮
摘要：选用Si3N4薄膜和ZrO薄膜两种光学材料作为测试对象以研究椭圆偏振法测量薄膜厚度的精度。实验结果表明，椭圆偏振法的精度较高，但对于数量级在几十个nm的光学薄膜，误差相对较大。该实验为进一步调试和改进测试平台，对单一材料多层膜和不同材料多层膜等更加复杂的膜系进行研究提供了参考。
关键词：薄膜技术薄膜厚度椭圆偏振法
分类号：TP911.73(自动化技术、计算机技术)
论文发表日期：2016-01-01
页数：3( 6-8 )
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