表面形貌的全息式非接触光学测量方法
王晓飞
罗鸿逵
郭鸿禧
1.北方交通大学电子信息工程学院,机械与电气工程学院,北京,1000442.北方交通大学电子信息工程学院,机械与电气工程学院,北京,1000443.北方交通大学电子信息工程学院,机械与电气工程学院,北京,100044
摘要：讨论了关于表面形貌的一种全息式非接触光学测量新方法.此方法采用全息光学元件HOE替代普通光学元件,作为离焦检测元件,提高了测量精度和范围.
关键词：表面形貌全息光学元件(HOE)非接触光学测量
分类号：O434.19(光学)
论文发表日期：1998-01-01
在线出版日期：2025-08-15（本平台首次上网日期，不代表文献的发表时间）
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