高分辨率双频激光回馈的位移测量方法
张立1
吴云2
周鲁飞2
张书练2
1.北京交通大学,理学院,北京,1000442.清华大学,精密测试技术及仪器国家重点实验室,北京,100084
摘要：在分析双频激光回馈测量原理的基础上,提出了一种基于双频激光回馈原理的高精度位移测量方法,研究了双频激光回馈的基本现象并给出了理论依据,进一步在回馈光学系统基础上,对两路正交的光回馈条纹,利用电路进行细分处理:即5细分和4倍频电路相结合,细分产生的计数脉冲最后送入单片机进行计算及显示.采用可编程逻辑器件FPGA和单片机设计信号处理电路,利用FPGA实现4倍频细分,利用电阻链细分实现5细分.全部电路通过逻辑、时序仿真,验证了本方法的可行性.目前此系统可满足高精度位移测量的要求.
关键词：位移测量双频激光光回馈细分
分类号：TB921(计量学)
资助基金：国家自然科学基金(60827006)
论文发表日期：2009-11-01
在线出版日期：2025-08-15（本平台首次上网日期，不代表文献的发表时间）
页数：4( 9-12 )
英文信息