氧气分压和衬底温度对铝掺杂氧化锌透明导电薄膜性能的影响
彭光怀
李金琼
温和瑞
廖金生
洪瑞金
1.江西理工大学冶金与化学工程学院,江西赣州,3410002.江西理工大学冶金与化学工程学院,江西赣州,3410003.江西理工大学冶金与化学工程学院,江西赣州,3410004.江西理工大学冶金与化学工程学院,江西赣州,3410005.江西理工大学冶金与化学工程学院,江西赣州,341000
摘要：通过直流磁控溅射法在玻璃衬底上制备了一系列铝掺杂氧化锌透明导电薄膜,研究了氧气分压和衬底温度对铝掺杂氧化锌透明导电薄膜的结构和光电性能的影响.X-射线衍射研究表明铝掺杂氧化锌薄膜是沿c-轴方向堆积的具有六方结构的多晶薄膜,实验获得的最佳沉积衬底温度和氧分压分别为400℃和5:100(O2/A r),在该条件下制备的铝掺杂氧化锌薄膜具有较低的表面电阻(<80 Ω/sq)和较高的平均透过率(>80%).
关键词：铝掺杂氧化锌薄膜磁控溅射氧分压沉积温度透明导电薄膜
分类号：TQ132.41(金属元素的无机化合物化学工业)
资助基金：国家自然科学基金(21761012)
论文发表日期：2018-01-01
在线出版日期：2025-08-15（本平台首次上网日期，不代表文献的发表时间）
页数：6( 39-44 )
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