类石墨非晶碳膜的结构、制备、表征及改性
胡仁涛
陆境莲
朱光明
汤皎宁
1.深圳大学材料科学与工程学院深圳市特种功能材料重点实验室,广东深圳,5180602.深圳大学材料科学与工程学院深圳市特种功能材料重点实验室,广东深圳,5180603.深圳大学材料科学与工程学院深圳市特种功能材料重点实验室,广东深圳,5180604.深圳大学材料科学与工程学院深圳市特种功能材料重点实验室,广东深圳,518060
摘要：非晶碳是一种由sp2和sp3共同构成的无定型碳,按照杂化比例的多少可以分为类金刚石非晶碳和类石墨非晶碳.类石墨非晶碳膜是近年来发现的一种新型碳材料,其制备方法比较独特、与类金刚石碳膜有明显的区别,具有摩擦系数小、磨损率低、硬度适中、导电性好等优点,因而在机械和电子领域具有广阔的应用前景,然而目前关于类石墨非晶碳膜的报道较少.本文详细介绍了类石墨碳膜的结构和制备方法、并对其检测手段和改性研究进行了综述和介绍,为广大科研工作者提供了指导.
关键词：类石墨非晶碳膜结构制备表征改性
分类号：TB43(工业通用技术与设备)
资助基金：国家自然科学基金(51778369)
论文发表日期：2018-05-02
在线出版日期：2025-08-15（本平台首次上网日期，不代表文献的发表时间）
页数：6( 147-152 )
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