基于白光干涉术的微器件三维表面形貌恢复研究
申路1
王宇华2
杨永强3
1.佛山科学技术学院机电工程系,广东佛山528000／华南理工大学机械与汽车工程学院,广东广州5106402.佛山科学技术学院机电工程系,广东佛山,5280003.华南理工大学机械与汽车工程学院,广东广州,510640
摘要：白光干涉测量技术是光学测量中一种非常重要的方法。介绍了白光干涉测量的原理及系统构成,提出了基于局部峰点插值提取白光干涉信号包络的算法。对局部峰点插值提取包络算法的实现和数据处理的过程进行了讨论,得到了清晰的三维表面形貌图像。
关键词：白光干涉包络线三维表面形貌
分类号：TH703(仪器、仪表)
论文发表日期：2012-01-01
在线出版日期：2025-08-15（本平台首次上网日期，不代表文献的发表时间）
页数：5( 36-40 )
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