基于白光干涉原理的微齿轮几何特征检测
傅贵武1
申路2
王宇华1
1.佛山科学技术学院机电工程系,广东佛山,5280002.佛山科学技术学院机电工程系,广东佛山528000;华南理工大学机械与汽车工程学院,广东广州510640
摘要：将垂直扫描白光干涉(VSI)测量方法应用于微齿轮的几何特性检测中,该方法具有非接触、大量程、高精度、高效率等特点,水平分辨力为亚微米级,垂直分辨力可以达到纳米量级,并通过Hilbert变换法提取包络峰值来恢复被测表面的三维形貌尺寸.研究结果表明,垂直扫描白光干涉测量方法能够实现微齿轮几何特性的检测,满足设计中提出的精度要求.
关键词：白光干涉微齿轮几何特征检测
分类号：TH744.3(仪器、仪表)
论文发表日期：2013-01-01
在线出版日期：2025-08-15（本平台首次上网日期，不代表文献的发表时间）
页数：4( 58-61 )
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