MEMS 器件的白光干涉测量
王宇华1
权成根2
申路1
1.佛山科学技术学院 机电工程系,广东 佛山,5280002.新加坡国立大学 机械系,新加坡,119077
摘要：白光干涉测量法适用于 MEMS 器件的三维表面形貌测量。通过 Matlab 仿真，讨论了在局部峰点插值法中采用三次样条插值的优势，从测量速度、测量精度、抗噪能力和扫描步距等方面对局部峰点插值法与傅立叶变换滤波法、希尔伯特变换法、小波变换法进行比较。最后经过中值滤波预处理、局部峰点插值法处理后，得到器件的三维表面形貌。
关键词：微机电系统白光干涉三维表面形貌
分类号：TH744.3(仪器、仪表)
论文发表日期：2014-01-01
在线出版日期：2025-08-15（本平台首次上网日期，不代表文献的发表时间）
页数：5( 18-22 )
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