MEMS 微结构静态测试技术的发展及应用
张立平
卢清华
1.佛山科学技术学院 机电工程系,广东 佛山,5280002.佛山科学技术学院 机电工程系,广东 佛山,528000
摘要：对国内外众多学者提出的各种微几何量和微机械量的静态测试技术进行了总结，并讨论了其应用场合和测试范围，在此基础上分析得出非接触式光学测试方法受到众学者的青睐，微视觉测量是 MEMS 静态测试技术的一个主要发展方向。
关键词：MEMS静态测试微几何微机械微视觉测量
分类号：TH741.8(仪器、仪表)
资助基金：国家自然科学基金(51105077)
论文发表日期：2015-01-01
在线出版日期：2025-08-15（本平台首次上网日期，不代表文献的发表时间）
页数：5( 5-9 )
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