基于数据挖掘的制造过程合格率管理体系研究
齐二石1
聂斌1
简祯富2
1.天津大学,管理学院,天津,3000722.台湾清华大学,工业工程与工程管理学系,台湾
摘要：在半导体自动化制造过程中产生大量的数据,为应用数据挖掘技术进行有效的过程监控提供了条件.提出在运用数据挖掘技术中聚类分析方法的基础上,对不合格批产品的加工路径进行分析,从而准确地将控制对象定位于某些问题设备,并结合统计过程控制的手段加强监控.
关键词：数据挖掘合格率管理聚类分析关键路线统计过程控制
分类号：TN3(半导体技术)TP305(计算技术、计算机技术)
论文发表日期：2005-01-01
在线出版日期：2025-08-15（本平台首次上网日期，不代表文献的发表时间）
页数：5( 64-68 )
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