多重入晶圆制造厂整合式生产控制系统建模
郭永辉1
冯媛2
钱省三3
1.郑州航空工业管理学院,工业工程系,河南,郑州,4500152.河北能源职业技术学院,开滦党校,河北,唐山,0630093.上海理工大学,管理学院,上海,200093
摘要：将生产计划与生产调度整合,提出整合式晶圆生产控制系统,以应对生产过程中的异常情况,提高晶圆厂的生产绩效.利用两大建模工具IDEF0和Petri Net的各自优点,对整合式生产控制系统建模.
关键词：晶圆制造厂整合式生产控制IDEF0建模工具Petri Net建模工具
分类号：TP278(自动化技术及设备)
资助基金：上海市重点学科建设项目(T0502)
论文发表日期：2007-01-01
在线出版日期：2025-08-15（本平台首次上网日期，不代表文献的发表时间）
页数：4( 74-77 )
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