采用CONWIP投料系统的晶圆制造交货期设置方法
王恒
张志胜
刘飏
1.东南大学机械学院,南京,2100892.东南大学机械学院,南京,2100893.东南大学机械学院,南京,210089
摘要：交货期设置是晶圆制造车间控制的重要任务之一.根据统计分析和排队理论提出3层结构交货期设置模型预测交货期.采用固定在制品(Constant WIP,CONWIP)投料保持系统在制品恒定和物料流程稳定,提出最大积聚未投放量法确定物料投放时间,采用基于模拟的等待时间分布估计等待时间.实例表明,该模型简单有效,提高了交货期预测的准确性.
关键词：交货期设置晶圆制造固定在制品
分类号：TP391.77(计算技术、计算机技术)
资助基金：上海交通大学机械系统与振动国家重点实验室开放基金资助项目(MSV-2009-08)
论文发表日期：2009-01-01
在线出版日期：2025-08-15（本平台首次上网日期，不代表文献的发表时间）
页数：6( 82-86,130 )
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