半导体晶圆制造中组合设备运行和控制综述
闵雁
伍乃骐
1.广东工业大学机电工程学院,广东广州,5100062.广东工业大学机电工程学院,广东广州,510006
摘要：作为半导体制造中单晶圆加工技术的可重构集成设备,组合设备在半导体产业得到越来越广泛的应用.使用组合设备使得半导体制造产出更高、生产周期更短、空间利用率更高以及生产成本更低.由于组合设备的运行受限于诸多约束条件,有效运行一台组合设备相当困难.目前已有大量的有关组合设备建模、性能分析及调度等相关研究工作.本文回顾了这些研究工作的进展及其使用的研究方法,探讨了现有的方法的优缺点.基于这些分析,指出了进一步的研究方向.
关键词：半导体制造组合设备生产调度系统建模和分析
分类号：TP278(自动化技术及设备)
资助基金：国家自然科学基金(60974098)
论文发表日期：2012-01-01
在线出版日期：2025-08-15（本平台首次上网日期，不代表文献的发表时间）
页数：15( 1-15 )
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