基于分配结算函数的晶圆投放仿真优化方法
于一豪
张正敏
管在林
华中科技大学 机械科学与工程学院,湖北 武汉 430074
摘要：为了提高传统仿真优化方法的求解精度和收敛效果,提出一种基于分段线性分配结算函数(allocated clearing functions,ACF)的两阶段仿真优化方法以求解晶圆投放计划问题,用以决策每个计划周期不同类型产品的最优投放速率.该方法首先构建分段线性拟合模型拟合分配结算函数,以最小化生产成本为目标,建立基于分配结算函数的数学投放模型并求解,快速得到近似全局最优解作为较高质量初始解;然后建立离散事件仿真模型,并结合模拟退火算法以形成仿真优化框架,通过对初始解进行邻域搜索获得符合生产实际的满意解.实验结果表明,基于分段线性分配结算函数的两阶段仿真优化方法相比于对比方法和企业现行方法节省了超过27%的生产成本.
关键词：分配结算函数两阶段仿真优化晶圆制造生产投放计划
分类号：TP391.9(计算技术、计算机技术)
资助基金：国家重点研发计划(2018YFB1702700)
论文发表日期：2023-06-28
在线出版日期：2025-08-15（本平台首次上网日期，不代表文献的发表时间）
页数：9( 134-142 )
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