多脉冲飞秒激光烧蚀中反射率的变化对激光烧蚀阈值影响的研究
胡德志1
吴金随2
1.华北科技学院机电工程学院,北京东燕郊,0652012.华北科技学院理学院,北京东燕郊,065201
摘要：为了提高飞秒激光微加工的精度,研究了多脉冲飞秒激光烧蚀积累效应形成的机理.以铜靶为例,利用时域有限差分法(FDTD)对双温方程进行求解,得到了电子、离子亚系统温度及激光烧蚀阈值随反射率变化的规律.结果表明:在多脉冲激光烧蚀中前一个脉冲激光破坏了靶材表面的结构,使激光的反射率下降,导致后一脉冲激光烧蚀阈值大幅度下降.这解释了多脉冲飞秒激光烧蚀中烧蚀阈值不断变化的现象.同时,它表明在多脉冲飞秒激光加工过程中,我们必须考虑反射率的变化对激光烧蚀的影响才能实现高精微加工.
关键词：双温方程反射率烧蚀阈值时域有限差分法电声弛豫时间
分类号：TN249(光电子技术、激光技术)
资助基金：中央高校基本科研业务费专项(3142014035)
论文发表日期：2017-01-01
在线出版日期：2025-08-15（本平台首次上网日期，不代表文献的发表时间）
页数：5( 57-61 )
英文信息