压力驱动流下PDMS微流道变形特性研究
张敏1
刘旭玲2
李攀3
李青3
1.华北科技学院 机电工程学院,北京 燕郊 065201;华北科技学院 河北省矿山设备安全监测重点实验室,北京 燕郊 0652012.郑州轻工业大学 机电工程学院,河南 郑州 4500023.华北科技学院 机电工程学院,北京 燕郊 065201
摘要：为了改善弹性PDMS微流道的变形特性,提高微流控系统的应用性能,针对压力驱动流下P DMS微流道的变形特性进行了研究.建立了矩形截面P DMS微流道内液体流动数学模型;通过ANSYS有限元仿真,分析了P DMS微流道在不同参数条件下流道的变形特性;搭建了P DMS微流道变形测试试验平台,分别测试了不同试验条件下,流道的弹性变形特性及流道内液体的压力特性,分析总结了影响P DMS流道变形的关键参数.结果表明,压力驱动流下,P DMS弹性流道在深度h方向会产生较大的变形,且液体压力在液流方向存在明显的非线性,合理的选择关键结构参数,可以减小流道变形和液体压力的非线性,改善微流控系统性能.
关键词：压力驱动PDMS微流道变形
分类号：TN492(微电子学、集成电路（IC）)TN402(微电子学、集成电路（IC）)
资助基金：河北省自然科学基金(E2019508105)中央高校基本科研业务费专项(3142019003)中央高校基本科研业务费专项(3142019055)廊坊市科学技术研究与发展计划(2020011013)
论文发表日期：2020-12-28
在线出版日期：2025-08-15（本平台首次上网日期，不代表文献的发表时间）
页数：6( 71-76 )
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