薄膜外延生长中表面原子过程的动力学研究
李兴鳌1
杨建平2
左安友2
翁祝林2
1.华中科技大学,物理系,湖北,武汉,430074;湖北民族学院,理学院,湖北,恩施,4450002.湖北民族学院,理学院,湖北,恩施,445000
摘要：从理论上研究了薄膜生长过程中原子在表面上的各种动力学表现,对原子扩散、原子团扩散、多层膜生长等过程的动力学行为进行了详细的分析,进一步探讨了薄膜生长的微观机制.
关键词：薄膜生长表面动力学原子扩散
分类号：O484.1(固体物理学)
资助基金：湖北省教育厅科学技术研究项目(2003A001)
论文发表日期：2005-01-01
在线出版日期：2025-08-15（本平台首次上网日期，不代表文献的发表时间）
页数：5( 172-176 )
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