等离子体对材料表面作用机理分析
左安友1
袁作彬1
翁祝林1
熊小勇1
杨建平1
李兴鳌2
1.湖北民族学院,理学院,湖北,恩施,4450002.湖北民族学院,理学院,湖北,恩施,445000;湖北民族学院,信息工程学院,湖北,恩施,445000
摘要：等离子体是由大量的电子、离子、中性粒子组成.等离子体中存在着复杂的原子分子过程以及复杂的物理化学反应,这些粒子和这些复杂的过程作用于材料表面,会使材料表面的结构、成分和性能发生变化.详细分析了等离子体对材料表面作用的过程及机理,并以磁控溅射制备氮化铜薄膜为例,讨论了气体压强和基底温度对薄膜结构的影响.
关键词：等离子体表面改性磁控溅射氮化铜薄膜
分类号：O593(应用物理学)
资助基金：湖北省教育厅重点项目(D200529002)湖北省教育厅重点项目(2003A001)湖北省教育厅重点项目(B20082902)
论文发表日期：2008-01-01
在线出版日期：2025-08-15（本平台首次上网日期，不代表文献的发表时间）
页数：6( 173-178 )
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