微电子技术发展和展望
晏伯武1
张兆春2
1.黄石理工学院计算机学院,黄石,435003;华中科技大学电子科学与技术系,武汉,4300742.黄石理工学院计算机学院,黄石,435003
摘要：综述微电子技术的历史发展和重要地位,重点介绍其新材料和制备工艺的进展,新材料方面主要介绍几种重要的化合物半导体,并对其发展问题和前景进行展望.
关键词：微电子砷化稼集成电路纳米技术
分类号：TN40(微电子学、集成电路（IC）)
资助基金：国家高技术研究发展计划（863计划）(2004AA32G090)湖北省教育厅科学技术研究项目(B200530002)
论文发表日期：2007-01-01
在线出版日期：2025-08-15（本平台首次上网日期，不代表文献的发表时间）
页数：4( 7-10 )
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