采用细分插值技术的高分辨率隧道磁阻加速度计
李旺1
金丽2
景宁3
钟毓杰2
解琨阳3
1.中北大学前沿交叉科学研究院 太原 030051;中北大学仪器与电子学院 太原 030051;淮海工业集团有限公司 长治 0460002.中北大学前沿交叉科学研究院 太原 030051;中北大学仪器与电子学院 太原 0300513.中北大学前沿交叉科学研究院 太原 030051;中北大学信息与通信工程学院 太原 030051
摘要：论文介绍了一种采用细分插值技术的隧道磁阻(TMR)加速度计的设计仿真、工艺制造以及信号处理方案.通过对加速度计模态仿真分析验证了原理可行性,同时对加速度计结构参数进行优化,进一步提高结构灵敏度.其次,对产生高变化率磁场的磁栅结构进行了有限元仿真确定了最佳磁栅周期以及检测高度.最后创新性的引入高倍细分插值技术,将TMR传感器的正余弦输出转化为随感应加速度线性变化的输出,从而理论上可实现80 mg的分辨率.
关键词：MEMS加速计隧道磁阻磁栅细分插值电路
分类号：U45(隧道工程)
论文发表日期：2025-07-20
在线出版日期：2025-09-25（本平台首次上网日期，不代表文献的发表时间）
页数：5( 97-101 )
英文信息