高温薄膜热流传感器的设计及仿真
宫明峰1
雷程1
刘东2
白悦杭1
邵泊游1
谢宇1
余建刚1
梁庭1
1.中北大学微纳器件与系统教育部重点实验室 太原 0300512.淮海工业集团有限公司 长治 046012
摘要：针对超高温恶劣环境中难以实现准确检测大热流的技术难题,设计一种双端对称结构的高温薄膜热流传感器,基于有限元仿真方法,研究分析关键结构参数对输出电压和抗环境干扰性能的影响关系.仿真结果表明,优化后的传感器在1 MW/m2的热流密度下,响应电压为51.05 mV,抗环境温度干扰系数为0.082 mV/℃,灵敏度达0.051 mV/(kW/m2),具有良好的响应输出和抗环境干扰性能,可满足1 000 ℃高温环境下大热流的测量需求,同时该研究为研制高性能的薄膜热流传感器提供有力参考.
关键词：高温热流密度薄膜热流传感器有限元仿真
分类号：TP212(自动化技术及设备)
资助基金：国家重点研发计划(2023YFB3208500)中央引导地方科技发展资金项目(YDZJSX20231B006)
论文发表日期：2025-08-20
在线出版日期：2025-12-12（本平台首次上网日期，不代表文献的发表时间）
页数：6( 94-99 )
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