标准样片制备的测量数据分析方法研究
章婷
石坚
沈森祖
1.武汉数字工程研究所,武汉,4300742.武汉数字工程研究所,武汉,4300743.武汉数字工程研究所,武汉,430074
摘要：文章着重于研究标准样品制备中的测量数据分析技术.通过对标准样片各参数的测量数据进行分析考核处理,从而保证标准样片的重复性、稳定性程度、量值溯源到国家或国际标准的实现程度、特性量值给定程序和不确定度的确定过程等.
关键词：标准样片数据分析重复性考核稳定性考核不确定度评定
分类号：TN454(微电子学、集成电路（IC）)
论文发表日期：2010-01-01
在线出版日期：2025-08-15（本平台首次上网日期，不代表文献的发表时间）
页数：4( 16-18,22 )
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