膜厚类测试仪器的比对
李锁印1
李建强2
魏玲3
王亚军1
1.中国电子科技集团公司第十三研究所,石家庄,0500512.河南北方红阳工业集团公司区域计量站,洛阳,4514503.河北燕兴机械有限公司,张家口,075041
摘要：文章介绍了膜厚类测试仪比对方法的设计、比对结果的处理及比对周期的选取等,给出了台阶仪和光谱型膜厚测量仪的实际结果.该方法也适用于其他仪器的比对,并给出了比对中应注意的问题.
关键词：比对膜厚标准
分类号：TM93(电气测量技术及仪器)
论文发表日期：2010-01-01
在线出版日期：2025-08-15（本平台首次上网日期，不代表文献的发表时间）
页数：4( 49-51,76 )
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