半导体分析仪微小电流校准方法研究磁
乔玉娥
郑世棋
梁法国
丁立强
1.中国电子科技集团公司第十三研究所 石家庄 0500512.中国电子科技集团公司第十三研究所 石家庄 0500513.中国电子科技集团公司第十三研究所 石家庄 0500514.中国电子科技集团公司第十三研究所 石家庄 050051
摘要：半导体分析仪作为目前半导体器件 I‐V 特性曲线的最重要测量仪器，其微小电流低至 pA 量级，准确度至1％，采用常规直接测量方法无法实现，论文在研究校准方案的基础上，利用“加压测流法”对 G Ω量级高值电阻器进行标定，设计与其配套的无源低电流适配器，巧妙利用 Guard 技术实现对 pA 、nA 量级微小电流的校准。采用“传递比较法”与上级机构对1pA ～10nA 的微小电流进行验证，试验数据验证了论文校准方案的正确性。论文技术成果已经应用于半导体工艺线源表类测试系统的校准中，值得借鉴推广。
关键词：半导体分析仪适配器微小电流高值电阻器Guard 技术
分类号：TM561(电器)
论文发表日期：2015-01-01
在线出版日期：2025-08-15（本平台首次上网日期，不代表文献的发表时间）
页数：5( 17-20,43 )
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