基于线距标准样片的扫描电镜校准方法探讨
赵琳
张晓东
李锁印
韩志国
吴爱华
中国电子科技集团公司第十三研究所 石家庄 050051
摘要：为解决微电子行业内扫描电镜的计量需求,结合现有扫描电镜的计量技术文件,研究了基于线距标准样片的扫描电镜校准方法.首先,采用半导体工艺研制了用于计量扫描电镜的线距标准样片,并对样片进行了质量参数考核.其次,分析了现有检定规程的局限性,并研究了扫描电镜放大倍数示值误差、重复性、图像线性失真度等参数的实际校准方法.最后,使用自行研制且经过溯源的线距标准样片对扫描电镜在100K倍下的示值误差进行了校准实验,结果表明:自行研制样片的指标可以达到校准电镜的要求,被校电镜的示值误差在2％的范围以内,校准方法有效.
关键词：扫描电镜半导体工艺标准样片质量参数校准方法
分类号：O436.3(光学)
论文发表日期：2021-04-20
在线出版日期：2025-08-15（本平台首次上网日期，不代表文献的发表时间）
页数：5( 644-648 )
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