基于混合蚁群分布估计算法的可重入流水车间调度
钟臻怡
杨家荣
吕伟
上海电气集团股份有限公司中央研究院 上海 200070
摘要：在半导体晶圆制造过程中,调整设备相关参数来提高晶圆质量的同时会造成换模时间的增加,从而影响生产效率.并且考虑到半导体晶圆制造可重入的特性,论文对带换模约束的可重入流水车间进行了研究,提出了混合蚁群分布估计算法.首先对该问题进行了问题描述,并以系统makespan最小化为目标建立数学规划模型,随后将分布估计算法融入蚁群算法,以提高蚁群算法的全局搜索能力.最后实验结果验证了所提出算法的有效性.
关键词：换模调度蚁群算法分布估计算法
分类号：TP391(计算技术、计算机技术)
资助基金：上海市科研项目(18DZ1100702)
论文发表日期：2021-05-20
在线出版日期：2025-08-15（本平台首次上网日期，不代表文献的发表时间）
页数：7( 863-868,895 )
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