大角度线性偏转的电热式微镜仿真设计
和学泰1
祝方舟2
邵光笑1
李庆党3
1.青岛科技大学机电工程学院 青岛 2661002.青岛科技大学中德科技学院 青岛 2661003.青岛科技大学机电工程学院 青岛 266100;青岛科技大学中德科技学院 青岛 266100
摘要：MEMS微镜虽种类繁多,但是能够实现大角度偏转能力的MEMS微镜却很少,能够实现线性偏转能力的MEMS微镜更是屈指可数.论文针对现有MEMS微镜偏转角度小、偏转能力不可控以及无法线性偏转等问题,提出了一种新型的电热式MEMS微镜结构,该结构具备较大的微镜反射平面,并且镜面平整光滑,反射率较高.不仅能够实现119°的大角度偏转能力,还具有在0～3 V内的电压—角度线性偏转的能力.
关键词：微光机电系统电热式微镜仿真线性偏转MEMS微镜大角度偏转微镜
分类号：TN491(微电子学、集成电路（IC）)
论文发表日期：2024-10-20
在线出版日期：2025-08-15（本平台首次上网日期，不代表文献的发表时间）
页数：6( 2932-2936,2954 )
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