线性可控电热式MEMS微镜设计与仿真分析
张博伦1
李庆党2
祝方舟3
1.青岛科技大学机电工程学院 青岛 2661002.青岛科技大学机电工程学院 青岛 266100;青岛科技大学中德科技学院 青岛 2661003.青岛科技大学中德科技学院 青岛 266100
摘要：论文对MEMS微镜领域电热式偏转结构的基础上,提出了一种全新的悬臂梁式MEMS微镜结构设计,并且对该结构的电热选材进行了对比,在同等电压下,不同加热材料会出现不同的结构形变,同时对MEMS微镜悬臂梁结构进行了尺寸仿真优化,最终该MEMS微镜能够实现随着施加的电压变化,微镜偏转的角度线性可控.
关键词：微机电系统线性可控电热式微镜多层结构
分类号：TN491(微电子学、集成电路（IC）)
论文发表日期：2025-01-19
在线出版日期：2025-08-15（本平台首次上网日期，不代表文献的发表时间）
页数：6( 71-76 )
英文信息