掺杂与热处理温度对VO2薄膜性能的影响
吴卫和1
王德平2
黄文旵2
秦建中3
1.同济大学,材料科学与工程学院,上海,2000922.同济大学,材料科学与工程学院,上海,200092;同济大学,先进土木工程材料教育部重点实验室,上海,2000923.中国洛阳浮法玻璃集团有限责任公司,河南,洛阳,471009
摘要：应用无机溶胶-凝胶法在玻璃基片上制得VO2薄膜样品,并研究了真空热处理温度和掺杂对VO2薄膜光电性能的影响.结果表明:在350,400,450℃真空热处理温度下得到的VO2薄膜,其相变温度大约都在65℃,其中400℃真空热处理温度下得到的VO2薄膜表现出明显的电阻突变现象;在VO2薄膜中掺入W6+,M06+,Cu2+(原子比均为2%),VO2薄膜的相变温度得到有效降低,但是掺杂会使VO2薄膜的光学透过性降低.
关键词：无机溶胶-凝胶法二氧化钒薄膜掺杂相变
分类号：TQ171(硅酸盐工业)
论文发表日期：2006-01-01
在线出版日期：2025-08-15（本平台首次上网日期，不代表文献的发表时间）
页数：7( 548-554 )
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