压电倾斜镜的自校正PID高精度跟踪控制
王耿1
聂建伟2
白福忠3
1.河南理工大学机械与动力工程学院,河南焦作,4540002.河南伟彤科技股份有限公司,河南焦作,4540003.内蒙古工业大学机械学院,呼和浩特,010051
摘要：压电倾斜镜是一种集光、机、电、控于一体的复杂强耦合非线性元器件.然而,由于压电材料迟滞非线性的存在,很难实现对倾斜镜倾斜角的高精度跟踪控制.为了对其进行有效控制,建立了倾斜镜带有扰动的单输入单输出模型,并采用自校正PID控制算法构成闭环控制实现动态跟踪定位.相应的开闭环实验结果表明:系统闭环后的输入输出跟踪曲线最大误差达0.66％,平均误差达0.10％,比开环性能有大幅度提高.也证实了极点配置自校正PID算法对倾斜镜跟踪控制系统的有效性.
关键词：压电倾斜镜迟滞非线性自校正PID动态跟踪
分类号：TH744(仪器、仪表)
资助基金：国家自然科学基金(61108038)教育部春晖计划(Z2011069)河南理工大学博士基金(60407/010)
论文发表日期：2015-01-01
在线出版日期：2025-08-15（本平台首次上网日期，不代表文献的发表时间）
页数：5( 520-524 )
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