彩色光谱共焦传感器误差溯源及其校准方法分析
闫勇刚1
刘志浩1
朱小平2
杜华2
李加福2
王耿1
1.河南理工大学 机械与动力工程学院,河南 焦作 4540002.中国计量科学研究院,北京 100029
摘要：针对国内光谱共焦传感器校准方法不统一、计量特性难以比较等问题,提出3种基于精密标准器的光谱共焦传感器校准方法,并基于此开展校准和计量特性评定.分别采用精密位移台、高精度测长仪与激光干涉仪3种标准器对光谱共焦传感器的基本误差、线性度、重复性、回程误差等参数进行校准,3种方法所测某种光谱共焦传感器的最大误差分别为2.76,3.40,1.17μm,线性度分别为0.689％,0.850％,0.293％,重复性分别为1.463,1.324,0.787μm,回程(迟滞)误差为0.51μm.校准结果表明:所提出的3种计量特性校准方法是有效的,光谱共焦位移传感器计量特性满足使用要求,其中,激光干涉校准法精度最高且可靠.研究成果有助于提高彩色光谱共焦位移传感器校准效率和可靠性,并为大尺寸玻璃平面度的高精度测量提供坚实的技术支撑.
关键词：计量学光谱共焦位移传感器校准非接触测量误差分析
分类号：TB921(计量学)
资助基金：国家自然科学基金(51775174)河南省高等学校基本科研业务费专项(NSFRF80332)河南省科技攻关计划(212102210323)河南省科技攻关计划(202102210082)
论文发表日期：2021-10-28
在线出版日期：2025-08-15（本平台首次上网日期，不代表文献的发表时间）
页数：7( 117-123 )
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