应用激光闪光法测量薄膜材料的热扩散率
唐大伟
荒木信幸
1.静冈大学工学部,432-8561,日本静冈浜松市城北2.静冈大学工学部,432-8561,日本静冈浜松市城北
摘要:目的是将用于测量片状试样的热扩散率的激光闪光法推广至测量薄膜试样.应用15纳秒脉冲Nd:YAG激光及响应时间0.9微秒的(Hg,Cd)Te红外探测器等建立了闪光法热扩散率测量系统,并应用此系统对微米量级厚度的不锈钢薄膜进行了测量.同时针对将激光闪光法应用于薄膜时所出现的问题,如激光的有限脉冲时间及有限吸收厚度效应,测量系统的滞后效应,以及增强红外吸收及辐射用表面黑化膜的影响进行了分析并提出了解决方法.
关键词:激光闪光法热扩散率薄膜有限脉中时间效应测量系统的滞后效应表面黑化膜的影响
分类号:O484.4(固体物理学)
论文发表日期:2002-01-01
在线出版日期:2025-08-15(本平台首次上网日期,不代表文献的发表时间)
页数:7( 1-7 )
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