半导体陶瓷粉末制备方法的比较研究
徐翠艳1
李成2
王文新2
1.渤海大学,物理系,辽宁,锦州,1210012.辽宁工学院,辽宁,锦州,121001
摘要：随着电子工业的高速发展,对半导体陶瓷材料性能的要求越来越高.制备工艺是决定其质量的关键技术之一.文章对半导体陶瓷粉末制备方法如机械粉碎法、喷雾热解法、沉淀法、溶胶 --凝胶法、水热合成法、水解法、气相化学反应法等进行了综合评述.比较和分析了各工艺方法的优缺点,并提出制备性能优异的陶瓷粉体的发展趋势.
关键词：半导体陶瓷前驱体粉共沉淀
分类号：O417(理论物理学)
论文发表日期：2005-01-01
在线出版日期：2025-08-15（本平台首次上网日期，不代表文献的发表时间）
页数：4( 61-64 )
英文信息