反应气压对生长金刚石膜的影响
孙冰1
李明标1
赵乐发2
1.渤海大学,物理系,辽宁,锦州,1210132.辽宁大学,物理学院,辽宁,沈阳,110036
摘要：实验以CH3CH2OH和H2 为气源,用微波等离子体CVD法沉积金刚石膜,并用金相显微镜(×400)观察其沉积效果,X射线衍射仪表征其成膜质量,最后分析反应气压对金刚石膜的影响.
关键词：微波等离子体金刚石膜金相显微镜X射线衍射
分类号：TG135.5(金属学与热处理)
论文发表日期：2008-01-01
在线出版日期：2025-08-15（本平台首次上网日期，不代表文献的发表时间）
页数：2( 75-76 )
英文信息