透明导电氧化物薄膜的制备方法研究
王玲玲1
于昕宇2
张蕾1
刘琳1
1.渤海大学,辽宁省功能化合物的合成与应用重点实验室,辽宁锦州1210132.中国石油抚顺石化公司,石油二厂,辽宁抚顺113004
摘要：主要介绍了制备透明导电氧化物薄膜的方法，其中包括磁控溅射法、脉冲激光沉积法（PLD）、喷涂热解法、分子束外延法（MBE）、溶胶-凝胶技术（sol-gel）法，总结了各种方法的优缺点，并对透明导电氧化物薄膜的研究进行了展望。
关键词：透明导电氧化物薄膜制备方法展望
分类号：O211(概率论与数理统计)
资助基金：辽宁省科技厅重点实验室资助项目(2008403001)
论文发表日期：2011-01-01
在线出版日期：2025-08-15（本平台首次上网日期，不代表文献的发表时间）
页数：4( 241-244 )
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