碱腐蚀减薄硅片过程中少子寿命性质研究
陆晓东
张鹏
周涛
赵洋
王泽来
1.渤海大学新能源学院,辽宁锦州,1210132.渤海大学新能源学院,辽宁锦州,1210133.渤海大学新能源学院,辽宁锦州,1210134.渤海大学新能源学院,辽宁锦州,1210135.渤海大学新能源学院,辽宁锦州,121013
摘要：通过高频光电导法研究了超薄晶硅片少数载流子寿命的变化规律,分析了碱液腐蚀速率、表面缺陷态的变化对少子寿命的影响,得到:在现有的切片工艺条件下,腐蚀10分钟即可将表面损伤层完全去除,使超薄晶片显示出体内和表面寿命共同决定的较大少子寿命值.
关键词：太阳能电池超薄晶硅片少数载流子寿命
分类号：TK514(太阳能及其利用)C934.1(决策学)
资助基金：国家自然科学基金项目(11304020)辽宁省教育厅项目(L2012401)
论文发表日期：2015-01-01
在线出版日期：2025-08-15（本平台首次上网日期，不代表文献的发表时间）
页数：5( 349-353 )
英文信息