翘曲状态下硅微悬臂梁固有频率的变化规律
杨一柳1
佘东生2
于震2
1.渤海大学 大学基础教研部,辽宁 锦州,1210132.渤海大学 工学院,辽宁 锦州,121013
摘要：为了研究微悬臂梁的翘曲状态对其固有频率的影响，使用有限元分析的方法对小长宽比和大长宽比两种结构尺寸的硅微悬臂梁在不同曲率半径下的前五阶模态固有频率进行了仿真分析．结果表明，翘曲对小长宽比硅微悬臂梁固有频率的影响很小；而对于大长宽比的硅微悬臂梁，当曲率半径为1 mm时，其第1阶，第2阶，第3阶，第5阶模态固有频率的变化率分别为1％，26％，40％和15．8％，当曲率半径为3 mm时，其第4阶模态固有频率变化率为13．7％，可见翘曲对大长宽比硅微悬臂梁固有频率的1阶模态固有频率的影响很小，而对第2、第3、第4和第5阶模态固有频率的影响则十分明显．
关键词：微悬臂梁翘曲固有频率有限元分析曲率半径
分类号：O242.21(计算数学)
资助基金：国家自然科学基金(No51305191)辽宁省教育厅一般项目(NoL2015009)
论文发表日期：2016-01-01
在线出版日期：2025-08-15（本平台首次上网日期，不代表文献的发表时间）
页数：7( 271-277 )
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