柔性并五苯薄膜晶体管的制备及性能优化
周淑君
刘锦
孟寒冰
张晓丹
周小叶
王玉佩
渤海大学物理科学技术学院,辽宁锦州 121013
摘要：采用了一种全新的方法,应用真空沉积技术在弹性的聚二甲基硅氧烷(PDMS)绝缘层上制备了均匀致密的并五苯薄膜.实验结果显示,通过氧等离子体处理和十八烷基三氯硅烷(OTS)气相修饰PDMS绝缘层,对沉积大晶粒的并五苯薄膜进而获得高迁移率的薄膜场效应晶体管有着至关重要的作用.实验中通过优化氧等离子体处理和OTS修饰的条件,在先后经过100 s氧等离子体处理和7 h气相OTS修饰的PDMS绝缘层上,制备并五苯薄膜场效应晶体管,其最高迁移率可以达到0.58 cm2·V-1·s-1.后续实验中在PDMS绝缘层上尝试并成功地制备了柔性的并五苯薄膜场效应晶体管.这一实验结果拓宽了 PDMS作为柔性绝缘层可以通过真空沉积技术制备薄膜器件的能力,在未来大规模柔性电子产品的制备和优化中具有巨大的应用潜力.
关键词：柔性并五苯薄膜晶体管聚二甲基硅氧烷氧等离子体处理十八烷基三氯硅烷气相修饰
分类号：TN321.5(半导体技术)
资助基金：LQ2020016(No)0520bs004(No)
论文发表日期：2023-06-15
在线出版日期：2025-08-15（本平台首次上网日期，不代表文献的发表时间）
页数：7( 159-165 )
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