射频电感耦合闭式等离子体产生与光谱诊断的实验
林敏
徐浩军
魏小龙
梁华
苏晨
1.空军工程大学航空航天工程学院,西安,7100382.空军工程大学航空航天工程学院,西安,7100383.空军工程大学航空航天工程学院,西安,7100384.空军工程大学航空航天工程学院,西安,7100385.空军工程大学航空航天工程学院,西安,710038
摘要：设计了一种闭式等离子体发生装置,采用射频电感耦合方式,以氩气为工作气体,在封闭式腔体低气压环境下进行放电实验.利用发射光谱法,测量了密闭腔体侧面方向的Ar谱线数据,研究了等离子体电子激发温度和电子密度随空间位置的分布规律以及不同射频功率对电子激发温度和电子密度的影响.等离子体中电子激发温度的变化通过玻尔兹曼斜率法进行分析,电子密度的变化则通过分析Ar原子750.4 nm谱线强度变化获得.实验结果表明,该发生装置能够产生均匀持续的等离子体层,等离子体中电子激发温度约为9 500 K.等离子体电子密度和电子激发温度随着输入射频功率的增加而增大,但变化幅度在减弱;当足够的输入功率时,等离子体层参数随位置的变化幅度较小.
关键词：射频电感耦合等离子体等离子体隐身发射光谱电子激发温度电子密度
分类号：V218(基础理论及试验)O657.3(分析化学)
资助基金：国家自然科学基金(51276197)
论文发表日期：2015-01-01
在线出版日期：2025-08-15（本平台首次上网日期，不代表文献的发表时间）
页数：5( 10-14 )
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