BST薄膜的制备工艺与太赫兹介电特性测试
董博文
马华
王军
娄菁
冯明德
1.空军工程大学基础部,西安,7100512.空军工程大学基础部,西安,7100513.空军工程大学基础部,西安,7100514.空军工程大学基础部,西安,7100515.空军工程大学基础部,西安,710051
摘要：经过多组对比实验,通过XRD、AFM、SEM等表征手段优化了BST薄膜的制备工艺.结合BST基薄膜器件的电极制备、微结构加工制备了太赫兹频段电可调的频率选择表面.通过太赫兹测试系统验证了在太赫兹频段BST薄膜的可调性,在电场作用下通带频率可以从0.85 THz调节到0.87 THz,结合仿真研究给出了确定铁电薄膜在THz频段介电参数的方法.相关研究可用于精确测定铁电薄膜在THz频段的介电特性,为铁电薄膜功能器件的研制提供精确的介电参数测试方法.
关键词：钛酸锶钡薄膜太赫兹介电特性工艺参数磁控溅射
分类号：TN304(半导体技术)
资助基金：国家自然科学基金(61671467)
论文发表日期：2018-01-01
在线出版日期：2025-08-15（本平台首次上网日期，不代表文献的发表时间）
页数：6( 97-102 )
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