基于工艺波动的单粒子串扰效应研究
刘保军
雍霄驹
张爽
陈名华
空军工程大学航空机务士官学校,河南信阳,464000
摘要：为了表征互连线结构参数工艺波动对单粒子串扰(SEC)的影响,基于互连线的RLC等效模型和单粒子瞬态(SET)的等效电路,设计正交试验,利用极差分析和方差分析法,确定了互连线结构参数工艺波动时SEC的极限工艺角,并分析了技术节点、粒子能量、互连线长度对SEC极限工艺角的影响机理.结果表明,在互连线耦合效应和脉冲传播特性的共同作用下,45 nm技术节点以上,互连线结构参数波动±10％时,SEC的波动范围大于20％,且相对变化量随着粒子能量的增加,呈增大趋势,但并没有随着互连线长度的增加而出现较大的差异.45 nm技术节点以下,尽管SEC的电压峰值、噪声面积显著增加,但互连线工艺波动对SEC的影响却呈减小趋势,且随着互连线长度增加,SEC的波动呈增大趋势.
关键词：工艺波动单粒子瞬态(SET)串扰效应极限工艺角
分类号：TN47(微电子学、集成电路（IC）)TN432(微电子学、集成电路（IC）)
资助基金：国家自然科学基金(11975311)国家自然科学基金(11405270)
论文发表日期：2025-06-25
在线出版日期：2025-08-15（本平台首次上网日期，不代表文献的发表时间）
页数：7( 79-85 )
英文信息