热压成型聚合物微纳沟道制造技术研究
满运程
吴中昊
赵林川
廖穗杨
徐莘博
1.大连理工大学 辽宁大连1160232.大连理工大学 辽宁大连1160233.大连理工大学 辽宁大连1160234.大连理工大学 辽宁大连1160235.大连理工大学 辽宁大连116023
摘要：纳米压印技术是一种接触式工艺,已经发展了热压印、紫外压印以及微接触印刷等多种压印形式.纳米压印制造过程涉及到模板、材料、工艺以及设备等诸多因素的系统工程.想要获得纳米结构图案,模板的清洗、热压印制作、均匀紫外固化等相关核心技术的控制非常关键.利用紫外纳米压印技术制作微流控芯片二维微纳米沟道为背景,深入研究了紫外纳米压印的关键工艺过程.针对技术瓶颈,研究了低成本制作微流控芯片和二维纳米压印微纳米沟道的技术.
关键词：热压成形聚合物纳米沟道
分类号：TG386.3+4(金属压力加工)
论文发表日期：2015-01-01
在线出版日期：2026-05-22（本平台首次上网日期，不代表文献的发表时间）
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