LDI在电铸OLED MASK制作上的应用
高小平
莫松亭
刘学明
1.安徽省大富光电科技有限公司 安徽 蚌埠 2330002.安徽省大富光电科技有限公司 安徽 蚌埠 2330003.安徽省大富光电科技有限公司 安徽 蚌埠 233000
摘要：近年来，由于OLED所具有的特性优势被挖掘发现，人们开始认识到OLED行业存在的巨大成长性以及广阔的前景，各种厂商开始投入OLED行业建立生产线、设备、研究所等。本文介绍一种曝光设备——LDI的基本特性及其在电铸制作OLED Mask上的应用。
关键词：激光直接曝光机有机发光显示器掩膜曝光电铸
分类号：F407.4(工业经济理论)
论文发表日期：2016-01-01
在线出版日期：2026-05-22（本平台首次上网日期，不代表文献的发表时间）
页数：4( 5-8 )