硅基光刻工艺中的参数优化
储月娥
上海华虹宏力半导体制造有限公司 上海201203
摘要：随着半导体器件向更高频率和超大规模集成电路发展,器件的尺寸越来越小,图形越来越复杂,集成电路的特征尺寸是否能够进一步减小,与光刻技术的进一步发展密切相关.因此不断提高光刻工艺水平,优化光刻过程中的各种过程参数就愈发显得重要了,其中又主要表现在对光刻工艺线宽的控制.为了更好的实现硅片光刻过程在线宽精度方面的控制,本文主要从三个方面对0.3um线宽制成的光刻工艺的一系列参数进行了优化.首先通过swing curve试验选择了合适的光刻胶厚度,接着通过FEM矩阵确定了光刻机较合适的曝光时间和焦深,最后重点阐述用正交试验对显影、曝光及前烘和PEB在具体步骤当中一些主要参数对于制备结果所造成的影响进行了分析,从中得到了它们的较优的参数组合及影响程度的规律.最终得出当胶厚约为1.03μm时,显影时间为48s;曝光能量为39毫焦(mj);显影温度为23℃.此时光刻后的图形线宽具有最小的偏差,即平均线宽小于0.3+/-5％μm.
关键词：硅片光刻特征尺寸CD(characteristic dimension)驻波效应(standing wave)swing curve试验FEM(聚焦与曝光量矩阵)实验正交试验
分类号：TN305.7(半导体技术)
论文发表日期：2016-01-01
在线出版日期：2026-05-22（本平台首次上网日期，不代表文献的发表时间）
页数：3( 12-13,5 )