Surface matching method for profile inspection with touch probe
Yuqing CHEN
Zi MA
Yuan TIAN
Jialu DU
机标关键词：inspection
资助基金：the Chinese National Great Science Project Foundation(2009zx04001-021)Natural Science Foundation of China(51079013)Basic Scientific Research Specific Foundation of Central Colleges and Universities(2009QN037)
论文发表日期：2011-01-01
在线出版日期：2025-08-15（本平台首次上网日期，不代表文献的发表时间）
页数：5( 215-219 )
英文信息