Analysis and modeling of hysteresis of piezoelectric micro-actuator used in high precision dual-stage servo system
Arifur RAHMAN
Abdullah Al MAMUN
Kui YAO
机标关键词：servo systemhigh precision
资助基金：the Singapore National Research Foundation (NRF) under CRP Award ()the Singapore National Research Foundation (NRF-CRP-4-2008-06)the Singapore National Research Foundation (IMRE/10-1C0107)
论文发表日期：2015-01-01
在线出版日期：2025-08-15（本平台首次上网日期，不代表文献的发表时间）
页数：20( 184-203 )
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