基于变折扣因子EWMA的混合产品批间控制方法
侯明阳
郑英
艾兵
郑燕
张杰
1.华中科技大学,控制科学与工程系,湖北,武汉,4300742.华中科技大学,控制科学与工程系,湖北,武汉,4300743.华中科技大学,控制科学与工程系,湖北,武汉,4300744.华中科技大学,控制科学与工程系,湖北,武汉,4300745.华中科技大学,控制科学与工程系,湖北,武汉,430074
摘要：批间(run-to-run,简称R2R)控制现今已被广泛用于半导体生产行业.指数加权移动平均(exponet weighted moving average.EWMA)是R2R控制的一种重要算法.折扣因子是EWMA控制期的主要参数.本文在模型中考虑了实际生产过程中混合产品少量多样的特点,引入了基于产品的变折扣因子EWMA控制算法,解决了产品切换时制程输出收敛速度过慢的问题.变折扣因子的引入提高了制程输出的响应速率而并不影响制程输出的稳定性.对实际过程的模拟仿真检验了该控制算法的可行性和优越性.
关键词：批间控制指数加权移动平均折扣因子基于产品的控制
分类号：TP29(自动化技术及设备)
资助基金：国家自然科学基金(60604030)
论文发表日期：2009-01-01
在线出版日期：2025-08-15（本平台首次上网日期，不代表文献的发表时间）
页数：6( 1137-1142 )
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