多组合设备的调度控制研究综述
朱清华1
伍乃骐2
滕少华3
1.广东工业大学,机电工程学院,广东,广州510006;广东工业大学,计算机学院,广东,广州5100062.广东工业大学,机电工程学院,广东,广州5100063.广东工业大学,计算机学院,广东,广州510006
摘要：在半导体芯片制造中越来越广泛使用多组合设备.本文介绍了多组合设备的结构配置、生产运行过程、调度控制问题的一般特征条件、应该满足的约束及周期性调度策略;分析了问题的复杂性因素.从多组合设备的结构特征、运行过程特征两方面分类综述了调度问题的建模、分析方法、调度算法及存在的问题,最后指出了未来的研究方向.
关键词：半导体制造多组合设备调度与控制调度算法建模
分类号：TP278(自动化技术及设备)
资助基金：国家自然科学基金(60974098)高等学校博士学科点专项科研基金(200941420110002)广东省自然科学基金(9151009001000007)
论文发表日期：2010-01-01
在线出版日期：2025-08-15（本平台首次上网日期，不代表文献的发表时间）
页数：7( 1369-1375 )
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